Vaculub M135

晶圆减薄机润滑脂

描述：

塞维欧Vaculub M135 晶圆减薄机润滑脂 是由高纯度的直链全氟聚醚油，纳米级超精细PTFE稠化。并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的，饱和蒸气压极低，能大幅减少真空环境下的物质释放，防止真空度下降和系统污染。是专为半导体晶圆减薄设备定制的特种精密润滑介质，核心适配减薄机的高精度、高洁净、低挥发工况，保障晶圆减薄的纳米级加工精度。

优势：

稠度随温度变化极小，挥发性极低，使用寿命极长；
预脱气处理，高温烘烤（如125°C/24小时），加速挥发物释放；
极低的释气率，解决在真空和高温下油脂挥发、释放颗粒物等问题；
具有良好的高温稳定性和真空稳定性；
优异的抗磨损、抗擦伤、抗燃烧、抗辐射、抗腐蚀性；
低摩擦系数、高承载能力，与绝大多数橡胶、塑料良好相容；
具有极高的化学稳定性，不与工艺气体中的酸、碱发生反应。

产品参数：

性能	数据
颜色	目测
质地	光滑
气味	温和
比重，@ 77°F（25°C）	2.0
滴点，ASTM D-2265	无
粘度，cSt @ 40℃	150
锥入度，ASTM D-217 @ （25℃）	265-295
四球测试， ASTM D2596，N	3000
蒸汽压，20℃，Pa	2x10^-7
总质量损失，ASTM E 595-90（TML）	0,19%
挥发性冷凝物，ASTM E 595-90（CVCM）	0,05%
工作温度，℃	-50~250
保质期（未打开全密封）	5年
所给数据资料均为典型代表值。在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整，此处包含的信息如有更改，恕不另行通知。