半导体晶圆检测设备润滑脂

描述：

塞维欧Vaculub B042 半导体晶圆检测设备润滑脂是由高纯度的直链全氟聚醚油，纳米级超精细PTFE稠化。并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。是专门用于晶圆检测机（探针台、光学检测设备、晶圆机械手、量测设备等）洁净室环境的特种润滑脂，核心目标是：在精密运动部件减摩抗磨，同时绝对不能挥发、掉颗粒污染晶圆、光学镜头、传感器。

优势：

经深度脱除小分子，总质量损失 TML、可凝挥发物 CVCM 低；
与检测环节的光刻胶、特种清洗剂、氟橡胶密封件完全兼容，无腐蚀、无溶胀风险；
长时间平稳运转，降低摩擦，延长机械手寿命，减少维护周期；
低的离油度，基油的飞散减少，可以抑制基油飞散造成的晶圆污；
具有极高的化学稳定性，不与酸、碱和高活性物质发生反应。

产品参数：

性能	数据
颜色	目测
质地	光滑
气味	温和
比重，@ 77°F（25°C）	1.95
滴点，ASTM D-2265	无
粘度，cSt @ 40℃	400
锥入度，ASTM D-217 @ （25℃）	265-295
蒸汽压，20℃，Pa	5x10^-14
工作温度，℃	-30~280
保质期（未打开全密封）	5年
所给数据资料均为典型代表值。在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整，此处包含的信息如有更改，恕不另行通知。