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Vaculub X189

半导体洁净室高真空润滑脂

描述:

塞维欧Vaculub X189 半导体洁净室高真空润滑脂基于微过滤的直链全氟聚醚油(PFPE),并使用平均粒径<0.8 微米的特制聚四氟乙烯(PTFE)粉末经特殊工艺稠化而成。该产品优化了生产工艺,通过烘烤、预抽气降低挥发风险。在拥有较低释气率的同时,兼顾低发尘特性。完美解决了在真空和高温下油脂挥发、释放颗粒物等问题是一款综合性能优异的半导体设备使用润滑脂。


优势:
  • 微过滤基础油与微米级的聚四氟乙烯稠化,从而动态颗粒生成较低;
  • 不含全氟辛酸 (PFOA),符合环境法规;
  • 预脱气处理,高温烘烤(如125°C/24小时),加速挥发物释放;
  • 具有良好的高温稳定性和真空稳定性;
  • 较低的离油度,通过缓慢释放基础油,持续形成有效润滑膜。
产品参数:

性能

数据

颜色

目测

质地

光滑

气味

温和

比重,@ 77°F(25°C)

1.95

滴点,ASTM D-2265

粘度,cSt @ 40℃

200

锥入度,ASTM D-217 @ (25℃)

265-295

油分离率wt%(100°Cx24h)

2.0以下

蒸汽压,20℃,Pa

1x10-8

蒸发量wt%(99°Cx22h)

0.1以下

工作温度,

-50~250

保质期(未打开全密封)

5年

所给数据资料均为典型代表值,生产过程中可能有不影响产品性能的调整,此处包含的信息如有更改,恕不另行通知。


应用:
适用于半导体、高温、真空、无尘室等特殊环境使用,如:晶片处理机器人、晶圆制造设备内定位和传送晶圆。这些润滑剂需要满足清洁度要求,在存在腐蚀性工艺气体和化学物质的环境中耐腐蚀,同时在最小动态颗粒生成的情况下保持使用的稳定性。
包装:
1kg/罐装 订货号 470318
存储:
干燥处
半导体洁净室高真空润滑脂
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