高精度晶圆对位台润滑脂

塞维欧Vaculub S033 高精度晶圆对位台润滑脂 是由蒸汽压极低的直链全氟聚醚油，超精细PTFE稠化,并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。专用于晶圆对位台工件台内部滚珠丝杠、直线导轨、精密轴承、微小滑动副，在洁净室甚至真空环境下润滑，保障纳米级重复定位精度，同时不能污染晶圆、光学镜头。

• 高精度润滑、摩擦稳定，摩擦力波动小，保障定位台重复定位精度；
• 在微滑动接触面形成极薄油膜，减小微动摩擦，提升定位线性度；
• 超低蒸气压、化学惰性、耐高温、真空释气极低；
• 抗微振磨损，抑制振动、共振，改善阶跃响应，避免振荡；
• 适应腔体烘烤、工作温升，高温不碳化、低温不凝固卡顿。