半导体晶圆定位台润滑脂

塞维欧Vaculub S033 半导体晶圆定位台润滑脂 是由蒸汽压极低的直链全氟聚醚油，超精细PTFE稠化，并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。专为半导体晶圆定位台（精密运动平台、包含直线导轨、滚珠丝杠、交叉滚子轴承、微动滑台）开发的特种真空润滑脂。

• 高精度润滑、摩擦稳定：摩擦力波动小，保障定位台重复定位精度；
• 在微滑动接触面形成极薄油膜，减小微动摩擦，提升定位线性度；
• 耐受刻蚀、沉积工艺气体，不和腔体里塑料、金属、密封件发生反应；
• 抗微振磨损，抑制振动、共振，改善阶跃响应，避免振荡；
• 适应腔体烘烤、工作温升，高温不碳化、低温不凝固卡顿。