抗EUV光源辐射润滑脂

塞维欧Vaculub B042 抗EUV光源辐射润滑脂 是由高纯度的直链全氟聚醚油，纳米级超精细PTFE稠化。并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。是专用于EUV 极紫外光刻设备腔体内部、在超高真空与 EUV 极紫外高能光子持续辐照环境下工作的特种洁净润滑脂。

• 蒸气压极低挥发性低，不释放碳氢小分子，防止污染 EUV 光学系统；
• 在 EUV 光长时间照射下，分子不容易裂解，不会快速变稀变硬结焦；
• C-F键键能极高，可直接抵御EUV高能光子轰击，分子结构不易降解；
• 耐等离子体、抗光刻腔内活性气体，不腐蚀金属、光学元件；
• 极低的离油度，基油的飞散减少，可以抑制基油飞散造成的晶圆污；
• 无硅无卤素，不会出现“蠕变迁移”问题，避免污染EUV光学镜片；
• 具有极高的化学稳定性，不与酸、碱和高活性物质发生反应。