幹式蝕刻機滾珠螺杆潤滑脂

塞維歐Semilub N561幹式蝕刻機滾珠螺杆潤滑脂是采用較高粘性且蒸汽壓極低的直鏈全氟聚醚油，超精細PTFE稠化，並添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。

• 化學惰性強，耐氟基等離子體、腐蝕性蝕刻氣體、低蒸氣壓；
• 運動時脫落顆粒極少，符合潔淨室要求，避免顆粒造成汙染；
• 耐磨、扭矩平穩，保證滾珠螺杆長期精密定位、減少微振磨損；
• 耐等離子 /耐蝕刻腐蝕性氣體，抵抗 F、Cl 等鹵素；
• 無小分子VOC揮發，不會在真空腔體內形成凝露汙染。