高精度晶圓對位台潤滑脂

塞維歐 Vaculub S033 高精度晶圓對位台潤滑脂是由蒸汽壓極低的直鏈全氟聚醚油，超精細PTFE稠化,並添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。專用于晶圓對位台工件台內部滾珠絲杠、直線導軌、精密軸承、微小滑動副，在潔淨室甚至真空環境下潤滑，保障納米級重複定位精度，同時不能汙染晶圓、光學鏡頭。

• 高精度潤滑、摩擦穩定，摩擦力波動小，保障定位台重複定位精度；
• 在微滑動接觸面形成極薄油膜，減小微動摩擦，提升定位線性度；
• 超低蒸氣壓、化學惰性、耐高溫、真空釋氣極低；
• 抗微振磨損，抑制振動、共振，改善階躍響應，避免振蕩；
• 適應腔體烘烤、工作溫升，高溫不碳化、低溫不凝固卡頓。