半導體晶圓定位台潤滑脂

塞維歐Vaculub S033半導體晶圓定位台潤滑脂是由蒸汽壓極低的直鏈全氟聚醚油，超精細PTFE稠化，並添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的，專爲半導體晶圓定位台（精密運動平台、包含直線導軌、滾珠絲杠、交叉滾子軸承、微動滑台）開發的特種真空潤滑脂。

• 高精度潤滑、摩擦穩定：摩擦力波動小，保障定位台重複定位精度；
• 在微滑動接觸面形成極薄油膜，減小微動摩擦，提升定位線性度；
• 耐受刻蝕、沈積工藝氣體，不和腔體裏塑料、金屬、密封件發生反應；
• 抗微振磨損，抑制振動、共振，改善階躍響應，避免振蕩；
• 適應腔體烘烤、工作溫升，高溫不碳化、低溫不凝固卡頓。