Vaculub M135

晶圓減薄機潤滑脂

描述：

塞維歐Vaculub M135 晶圓減薄機潤滑脂是由高純度的直鏈全氟聚醚油，納米級超精細PTFE稠化。並添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的，飽和蒸氣壓極低，能大幅減少真空環境下的物質釋放，防止真空度下降和系統汙染。是專爲半導體晶圓減薄設備定制的特種精密潤滑介質，核心適配減薄機的高精度、高潔淨、低揮發工況，保障晶圓減薄的納米級加工精度。

優勢：

稠度隨溫度變化極小，揮發性極低，使用壽命極長；
預脫氣處理，高溫烘烤（如125°C/24小時），加速揮發物釋放；
極低的釋氣率，解決在真空和高溫下油脂揮發、釋放顆粒物等問題；
具有良好的高溫穩定性和真空穩定性；
優異的抗磨損、抗擦傷、抗燃燒、抗輻射、抗腐蝕性；
低摩擦系數、高承載能力，與絕大多數橡膠、塑料良好相容；
具有極高的化學穩定性，不與工藝氣體中的酸、堿發生反應。

產品參數：

性能	數據
顔色	目測
質地	光滑
氣味	溫和
比重，@ 77°F（25°C）	2.0
滴點，ASTM D-2265	無
粘度，cSt@40℃	150
錐入度，ASTM D-217 @ （25℃）	265-295
四球測試， ASTM D2596，N	3000
蒸汽壓，20℃，Pa	2x10^-7
總質量損失，ASTM E 595-90（TML）	0.19%
揮發性冷凝物，ASTM E 595-90（CVCM）	0.05%
工作溫度，℃	-50~250
保質期（未打開全密封）	5年
所給數據資料均爲典型代表值，在正常生産過程中可能有不影響産品性能的調整，此處包含的信息如有更改，恕不另行通知。