半導體晶圓檢測設備潤滑脂

描述：

塞維歐Vaculub B042 半導體晶圓檢測設備潤滑脂是由高純度的直鏈全氟聚醚油，納米級超精細PTFE稠化。並添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。是專門用于晶圓檢測機（探針台、光學檢測設備、晶圓機械手、量測設備等）潔淨室環境的特種潤滑脂，核心目標是：在精密運動部件減摩抗磨，同時絕對不能揮發、掉顆粒汙染晶圓、光學鏡頭、傳感器。

優勢：

經深度脫除小分子，總質量損失 TML、可凝揮發物 CVCM 低；
與檢測環節的光刻膠、特種清洗劑、氟橡膠密封件完全兼容，無腐蝕、無溶脹風險；
長時間平穩運轉，降低摩擦，延長機械手壽命，減少維護周期；
低的離油度，基油的飛散減少，可以抑制基油飛散造成的晶圓汙；
具有極高的化學穩定性，不與酸、堿和高活性物質發生反應。

產品參數：

性能	數據
顔色	目測
質地	光滑
氣味	溫和
比重，@ 77°F（25°C）	1.95
滴點，ASTM D-2265	無
粘度，cSt @ 40℃	400
錐入度，ASTM D-217 @ （25℃）	265-295
蒸汽壓，20℃，Pa	5x10^-14
工作溫度，℃	-30~280
保質期（未打開全密封）	5年
所給數據資料均爲典型代表值，在正常生産過程中可能有不影響産品性能的調整，此處包含的信息如有更改，恕不另行通知。