Vaculub B042

真空機器人潤滑脂

描述:

塞維歐Vaculub B042 真空機器人潤滑脂是由高純度的直鏈全氟聚醚油,納米級超精細PTFE稠化。並添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。是專用于真空腔體內機器人(最常見是半導體晶圓搬運機械手)關節、軸承、導軌的特種潤滑脂,屬于超高真空低析氣潤滑脂,核心目標:減少摩擦磨損,同時不能揮發汙染腔體、晶圓、光學元件。

優勢:
  • 經深度脫除小分子,總質量損失 TML、可凝揮發物 CVCM 低;
  • 配方純淨,關節反複旋轉、擺動剪切時,不容易産生微小固體碎屑;
  • 長時間平穩運轉,降低摩擦,延長機械手壽命,減少維護周期;
  • 低的離油度,基油的飛散減少,可以抑制基油飛散造成的晶圓汙;
  • 具有極高的化學穩定性,不與酸、堿和高活性物質發生反應。
產品參數:

性能

數據

顔色

目測

質地

光滑

氣味

溫和

比重,@ 77°F(25°C)

1.95

滴點,ASTM D-2265

無

粘度,cSt @ 40℃

400

錐入度,ASTM D-217 @ (25℃)

265-295

蒸汽壓,20℃,Pa

5x10-14

工作溫度,℃

-30~280

保質期(未打開全密封)

5年

所給數據資料均爲典型代表值,在正常生産過程中可能有不影響産品性能的調整,此處包含的信息如有更改,恕不另行通知。


應用:
適用于半導體晶圓真空機械手(真空機器人),用于鍍膜、刻蝕、離子注入等真空工藝腔體內部,負責抓取、傳送晶圓;也用于真空鍍膜設備機器人、航天真空測試艙內機械手等精密真空運動機構。潤滑部位:機器人旋轉關節、諧波軸承、交叉滾子軸承、導軌、O 型密封圈。
包裝:
1kg/裝 訂貨號 381995
存儲:
幹燥處
真空機器人潤滑脂
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